體聲波諧振器及其制造方法、濾波器及電子設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110018462.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114744974A 公開（公告）日 2022-07-12
申請公布號 CN114744974A 申請公布日 2022-07-12
分類號 H03H3/02（2006.01）I;H03H9/17（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 龐慰;徐洋;張孟倫 申請（專利權(quán)）人 諾思（天津）微系統(tǒng)有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京金誠同達(dá)律師事務(wù)所 代理人 -
地址 300462天津市濱海新區(qū)開發(fā)區(qū)西區(qū)新業(yè)五街27號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種體聲波諧振器，包括：基底；聲學(xué)鏡；底電極；壓電層，包括在厚度方向上彼此相鄰疊置的至少第一層和第二層，第一層具有第一厚度，第二層具有第二厚度；和頂電極，其中：第一層和第二層中的至少一層為單晶壓電層，所述諧振器具有機(jī)電耦合系數(shù)Kt2，且Kt2＞10％。本發(fā)明也涉及一種體聲波諧振器的制造方法，一種濾波器和一種電子設(shè)備。