柔性基底薄膜體聲波濾波器的連接結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811605251.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109889173B 公開（公告）日 2022-07-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN109889173B 申請(qǐng)公布日 2022-07-12
分類號(hào) H03H1/00（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 龐慰;高傳海;張孟倫 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 諾思（天津）微系統(tǒng)有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京漢智嘉成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 300072天津市南開區(qū)衛(wèi)津路92號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種柔性基底薄膜體聲波濾波器的連接結(jié)構(gòu)，包括：第一頂電極和第二頂電極，二者之間具有間隙；所述第一頂電極和第二頂電極下方的壓電層；所述壓電層下方的一個(gè)或兩個(gè)底電極；所述底電極下方的柔性基底；其中，所述兩個(gè)頂電極之間的間隙的下方不具有所述壓電層。