利用旋吸法在微通道板側(cè)壁沉積薄膜的方法及其專用裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410327632.9 申請日 -
公開（公告）號 CN104289382B 公開（公告）日 2019-04-05
申請公布號 CN104289382B 申請公布日 2019-04-05
分類號 B05C5/02（2006.01）I; B05C11/02（2006.01）I 分類 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 朱一平; 王連衛(wèi) 申請（專利權(quán)）人 上海歐普泰科技創(chuàng)業(yè)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海伯瑞杰知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 吳澤群
地址 200062 上海市普陀區(qū)中山北路3663號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種利用旋吸法在微通道板側(cè)壁沉積薄膜的方法及其專用裝置，本發(fā)明通過在對微通道板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)滴涂溶膠的同時，在微通道板的一側(cè)進(jìn)行真空抽吸，實(shí)現(xiàn)所需沉積薄膜材料的溶膠液體在微通道內(nèi)的定向均勻流動，然后對粘附在微通道側(cè)壁上的溶膠進(jìn)行高溫處理，從而實(shí)現(xiàn)薄膜在微通道板側(cè)壁上的沉積。單層沉積的薄膜厚度，取決于滴涂時旋轉(zhuǎn)速度、溶膠濃度和微通道板兩側(cè)的壓強(qiáng)差。為達(dá)到一定厚度的薄膜沉積，可對此過程方法多次循環(huán)使用，即多層溶膠凝膠法，直至實(shí)現(xiàn)預(yù)定厚度。本發(fā)明的有益效果是：使所需沉積薄膜材料的溶膠液體均勻旋涂在微通道板表面，并在狹小尺寸的微通道內(nèi)實(shí)現(xiàn)定向流動，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)其薄膜在微通道板側(cè)壁上的沉積。