基于微通道板三維結(jié)構(gòu)的高靈敏度氣體傳感器制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310485008.7 申請日 -
公開（公告）號 CN103543183B 公開（公告）日 2016-05-04
申請公布號 CN103543183B 申請公布日 2016-05-04
分類號 G01N27/12(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 朱一平;王連衛(wèi) 申請（專利權(quán)）人 上海歐普泰科技創(chuàng)業(yè)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海伯瑞杰知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 華東師范大學(xué);上海歐普泰科技創(chuàng)業(yè)有限公司;上海歐普泰科技創(chuàng)業(yè)股份有限公司
地址 200062 上海市普陀區(qū)中山北路3663號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了基于微通道板三維結(jié)構(gòu)的高靈敏度氣體傳感器及其制作方法，由檢測模塊和加熱模塊兩部分組成；檢測模塊和加熱模塊之間通過導(dǎo)電漿料粘合；檢測模塊和加熱模塊分別設(shè)置有兩個(gè)引線引出電極，分別為檢測電極和加熱電極，所述的檢測模塊和加熱模塊封裝于封裝管殼內(nèi)，所述的封裝管殼上共有至少四個(gè)電極；所述的檢測模塊，其結(jié)構(gòu)自上而下依次為上電極、微通道板和下電極；所述的加熱模塊，其結(jié)構(gòu)自下而上依次為隔熱絕緣襯底材料、加熱電阻線圈和絕緣薄膜。其有益效果是：提高氣敏材料薄膜的有效比表面積，從而提升了氣體傳感器的靈敏度；微通道板的多孔道結(jié)構(gòu)有利于被檢測氣體的順利通過，可提高器件的測試靈敏度和反應(yīng)速度。