一種硅微通道板的氧化方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210402277.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102956416B 公開（公告）日 2016-12-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN102956416B 申請(qǐng)公布日 2016-12-21
分類號(hào) H01J9/12(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王連衛(wèi);彭波波;楊平雄 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海歐普泰科技創(chuàng)業(yè)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海伯瑞杰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 吳澤群
地址 200062 上海市普陀區(qū)中山北路3663號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅微通道板的氧化方法，具體步驟如下：1）將硅微通道板切割成一定形狀；2）將硅微通道板置1號(hào)液和2號(hào)液中清洗；3）在平面型石英舟上放置兩塊平行的硅片或石英棒，將清洗好的硅微通道板架在硅片或石英棒上氧化，石英棒或硅片的方向與氣流方向平行。本發(fā)明在已經(jīng)通過陽(yáng)極氧化等方法制作的硅微通道板的基礎(chǔ)上，進(jìn)行氧化，提高硅微通道板的板電阻，并能夠克服應(yīng)力造成的彎曲等問題，從而實(shí)現(xiàn)微通道板的應(yīng)用。