一種防泄漏的TMAH提純設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920441855.6 申請日 -
公開（公告）號 CN210176759U 公開（公告）日 2020-03-24
申請公布號 CN210176759U 申請公布日 2020-03-24
分類號 C07C209/84;C07C211/63 分類 有機化學〔2〕;
發(fā)明人 梁?；?楊偉林 申請（專利權）人 廈門積光集成電路科技有限公司
代理機構 廈門原創(chuàng)專利事務所（普通合伙） 代理人 徐東峰
地址 361000 福建省廈門市火炬高新區(qū)信息光電園金豐大廈101室(林后西路1號)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種防泄漏的TMAH提純設備，包括槽殼，所述槽殼內安裝有槽殼板，所述槽殼板的頂端安裝有支柱，且支柱位于槽殼的頂端兩側位置，所述槽殼板的頂端安裝有內襯板，所述內襯板的頂端安裝有結殼，所述結殼的頂端安裝有陰極，所述陰極的頂端安裝有第一陽極，所述第一陽極的一側安裝有第二陽極，所述第一陽極的頂端安裝有第一固定板，本實用新型外側頂部設置有散熱板，散熱板與邊板均設置有散熱效果，對本設備內側進行溫度的把控，進一步的保證設備內部提純的質量，增加工作質量，提高生產效益，本實用新型內側設置有兩個陽極進行反應，保證了產品的質量，優(yōu)質的作出想要的純濃度。