一種光刻機(jī)的擋光板裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910653028.8 申請日 -
公開（公告）號 CN110398883A 公開（公告）日 2019-11-01
申請公布號 CN110398883A 申請公布日 2019-11-01
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 郎小虎 申請（專利權(quán)）人 上海微高精密機(jī)械工程有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京艾皮專利代理有限公司 代理人 上海微高精密機(jī)械工程有限公司
地址 200120 上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)張東路1525號3幢G104室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及集成電路生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種光刻機(jī)的擋光板裝置，包括兩塊前擋光板，前擋光板上端前后兩側(cè)分別通過一第一滑塊與一第二滑塊和對應(yīng)的一上導(dǎo)軌連接，上導(dǎo)軌內(nèi)設(shè)有一滾珠絲杠，前擋光板下方對應(yīng)設(shè)有兩塊后擋光板，且后擋光板下端左右兩側(cè)分別通過一第一滑塊與一第二滑塊和對應(yīng)的一下導(dǎo)軌連接，下導(dǎo)軌內(nèi)設(shè)有一滾珠絲杠。本發(fā)明通過上導(dǎo)軌內(nèi)的滾珠絲杠來帶動(dòng)前擋光板在水平方向進(jìn)行左右移動(dòng)，同時(shí)通過下導(dǎo)軌內(nèi)的滾珠絲杠來帶動(dòng)后擋光板在水平方向進(jìn)行前后移動(dòng)，進(jìn)而通過后擋光板與前擋光板的配合使用來構(gòu)成一個(gè)透光口，結(jié)構(gòu)簡單，解決了現(xiàn)有的光刻機(jī)的擋光板裝置結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜且空間占用率較高的問題。