一種光刻機(jī)的擋光板裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910653028.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110398883A | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-11-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110398883A | 申請(qǐng)公布日 | 2019-11-01 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/20（2006.01）I | 分類(lèi) | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 郎小虎 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海微高精密機(jī)械工程有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京艾皮專(zhuān)利代理有限公司 | 代理人 | 上海微高精密機(jī)械工程有限公司 |
| 地址 | 200120 上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)張東路1525號(hào)3幢G104室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及集成電路生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體公開(kāi)了一種光刻機(jī)的擋光板裝置，包括兩塊前擋光板，前擋光板上端前后兩側(cè)分別通過(guò)一第一滑塊與一第二滑塊和對(duì)應(yīng)的一上導(dǎo)軌連接，上導(dǎo)軌內(nèi)設(shè)有一滾珠絲杠，前擋光板下方對(duì)應(yīng)設(shè)有兩塊后擋光板，且后擋光板下端左右兩側(cè)分別通過(guò)一第一滑塊與一第二滑塊和對(duì)應(yīng)的一下導(dǎo)軌連接，下導(dǎo)軌內(nèi)設(shè)有一滾珠絲杠。本發(fā)明通過(guò)上導(dǎo)軌內(nèi)的滾珠絲杠來(lái)帶動(dòng)前擋光板在水平方向進(jìn)行左右移動(dòng)，同時(shí)通過(guò)下導(dǎo)軌內(nèi)的滾珠絲杠來(lái)帶動(dòng)后擋光板在水平方向進(jìn)行前后移動(dòng)，進(jìn)而通過(guò)后擋光板與前擋光板的配合使用來(lái)構(gòu)成一個(gè)透光口，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，解決了現(xiàn)有的光刻機(jī)的擋光板裝置結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜且空間占用率較高的問(wèn)題。 |
