一種光刻機的快門葉片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201511022925.7 申請日 -
公開（公告）號 CN106933041B 公開（公告）日 2019-11-26
申請公布號 CN106933041B 申請公布日 2019-11-26
分類號 G03F7/20（2006.01） 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 陳夢來; 劉國淦; 章富平 申請（專利權）人 上海微高精密機械工程有限公司
代理機構 上海思微知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 上海微電子裝備（集團）股份有限公司; 上海微高精密機械工程有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張東路1525號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光刻機的快門葉片，快門葉片接受光源照射的一面設有用于增大照射光的反射光線與水平線的夾角的光路轉(zhuǎn)換件。通過設置光路轉(zhuǎn)換件，使快門葉片上形成底部具有V形或倒V形斜坡的環(huán)形凹槽或條形凹槽，以及表面呈弧形的球形凸起，使照射在快門葉片表面的光線在經(jīng)快門葉片反射后遠離燈室的保護玻璃，以減少反射光線進入燈室，從而使位于燈室頂部的能量傳感器能穩(wěn)定工作，實現(xiàn)精密控制曝光劑量的目的。此外，設置V形或倒V形斜坡還具有增大散熱面積，減少快門葉片的熱量吸熱，提高其使用壽命的效果；而設置球形凸起增加了快門葉片的強度，緩解反射光過于集中導致的局部溫度過高的現(xiàn)象，進一步提高了快門葉片的使用壽命。