一種光刻機(jī)的快門葉片

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201511022925.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106933041B 公開（公告）日 2019-11-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN106933041B 申請(qǐng)公布日 2019-11-26
分類號(hào) G03F7/20（2006.01） 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 陳夢來; 劉國淦; 章富平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海微高精密機(jī)械工程有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司; 上海微高精密機(jī)械工程有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張東路1525號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光刻機(jī)的快門葉片，快門葉片接受光源照射的一面設(shè)有用于增大照射光的反射光線與水平線的夾角的光路轉(zhuǎn)換件。通過設(shè)置光路轉(zhuǎn)換件，使快門葉片上形成底部具有V形或倒V形斜坡的環(huán)形凹槽或條形凹槽，以及表面呈弧形的球形凸起，使照射在快門葉片表面的光線在經(jīng)快門葉片反射后遠(yuǎn)離燈室的保護(hù)玻璃，以減少反射光線進(jìn)入燈室，從而使位于燈室頂部的能量傳感器能穩(wěn)定工作，實(shí)現(xiàn)精密控制曝光劑量的目的。此外，設(shè)置V形或倒V形斜坡還具有增大散熱面積，減少快門葉片的熱量吸熱，提高其使用壽命的效果；而設(shè)置球形凸起增加了快門葉片的強(qiáng)度，緩解反射光過于集中導(dǎo)致的局部溫度過高的現(xiàn)象，進(jìn)一步提高了快門葉片的使用壽命。