氣壓測量裝置及方法、調(diào)焦調(diào)平裝置及光刻機(jī)設(shè)備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201510856576.2 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN106814545B | 公開（公告）日 | 2018-08-24 |
| 申請公布號(hào) | CN106814545B | 申請公布日 | 2018-08-24 |
| 分類號(hào) | G03F7/20;G03F9/00;G01L13/00 | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 王麗;王海江 | 申請（專利權(quán)）人 | 上海微高精密機(jī)械工程有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司;上海微高精密機(jī)械工程有限公司 |
| 地址 | 201203 上海市浦東新區(qū)張東路1525號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種氣壓測量裝置、氣壓測量方法、調(diào)焦調(diào)平裝置和光刻機(jī)設(shè)備。氣壓測量裝置包括連接至供氣裝置的參考管路和多個(gè)測量管路；位于參考管路一端的參考管路氣嘴，參考管路氣嘴設(shè)置于一參考平面上方，用于向參考平面噴射氣體；位于每個(gè)測量管路一端的分支測量管路氣嘴，多個(gè)分支測量管路氣嘴并排設(shè)置于同一測量平面上方，用于向測量平面噴射氣體；連接于參考管路和多個(gè)測量管路之間的氣壓計(jì)；連接至吸氣裝置的多個(gè)吸氣管路及位于每個(gè)吸氣管路一端的分支吸氣管路氣嘴，多個(gè)分支吸氣管路氣嘴并排設(shè)置于測量平面上方，并且，一個(gè)分支測量管路氣嘴周圍設(shè)置至少兩個(gè)分支吸氣管路氣嘴，用于吸走測量管路周圍的氣體，提高了位置測量的精度。 |
