一種調(diào)焦調(diào)平系統(tǒng)及其調(diào)焦調(diào)平方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201511024299.5 申請日 -
公開（公告）號 CN106933070B 公開（公告）日 2018-11-09
申請公布號 CN106933070B 申請公布日 2018-11-09
分類號 G03F9/00;G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 王曉慶;王福亮 申請（專利權(quán)）人 上海微高精密機械工程有限公司
代理機構(gòu) 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海微電子裝備（集團）股份有限公司;上海微高精密機械工程有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張東路1525號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種調(diào)焦調(diào)平系統(tǒng)及其調(diào)焦調(diào)平方法，該調(diào)焦調(diào)平系統(tǒng)包括發(fā)射部分和接收部分，發(fā)射部分包括光源、衍射光發(fā)生及調(diào)制組件和第一反射鏡組，接收部分包括第二反射鏡組、光線匯聚鏡組、光電傳感器及信號處理單元，光源發(fā)出的照明光束經(jīng)衍射光發(fā)生及調(diào)制組件產(chǎn)生出射方向不同的測量光束和參考光束，測量光束經(jīng)第一反射鏡組后經(jīng)被測對象反射，并通過第二反射鏡組后投射至光線匯聚鏡組上，參考光束依次經(jīng)第一、第二反射鏡組后投射至光線匯聚鏡組上，兩束光線發(fā)生干涉并產(chǎn)生干涉條紋，光電傳感器及信號處理單元根據(jù)干涉條紋獲得被測對象表面高度的變化值進行調(diào)焦調(diào)平。本發(fā)明采用相移干涉技術(shù)，提高了系統(tǒng)的測量精度以及系統(tǒng)的穩(wěn)定性、可靠性。