一種光刻機(jī)同步控制系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201511026460.2 申請日 -
公開（公告）號 CN106933050B 公開（公告）日 2019-05-31
申請公布號 CN106933050B 申請公布日 2019-05-31
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 方欣 申請（專利權(quán)）人 上海微高精密機(jī)械工程有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司; 上海微高精密機(jī)械工程有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張東路1525號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光刻機(jī)同步控制系統(tǒng)及方法，所述光刻機(jī)同步控制系統(tǒng)包括干涉儀分系統(tǒng)和外部分系統(tǒng)，所述干涉儀分系統(tǒng)包括通過同步總線連接的同步控制卡、多通道光纖卡及干涉儀計(jì)數(shù)卡，所述同步控制卡通過外同步通道與所述外部分系統(tǒng)連接，所述多通道光纖卡通過光纖通道與所述外部分系統(tǒng)連接。本發(fā)明提供的技術(shù)方案，通過將干涉儀分系統(tǒng)和工件臺掩模臺分系統(tǒng)的硬件解耦，使干涉儀分系統(tǒng)的同步控制卡可以連接更多的測量軸和外部分系統(tǒng)，增加了干涉儀分系統(tǒng)以及工件臺掩模臺分系統(tǒng)的擴(kuò)展性。通過提供格式和接口標(biāo)準(zhǔn)統(tǒng)一的外同步通道，實(shí)現(xiàn)外部分系統(tǒng)的擴(kuò)展，提高了同步控制系統(tǒng)的通用性。