一種對準系統(tǒng)及對準方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510859907.8 申請日 -
公開（公告）號 CN106814557B 公開（公告）日 2019-04-30
申請公布號 CN106814557B 申請公布日 2019-04-30
分類號 G03F9/00（2006.01）I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 于大維; 杜榮 申請（專利權）人 上海微高精密機械工程有限公司
代理機構 上海思微知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 上海微電子裝備（集團）股份有限公司; 上海微高精密機械工程有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張東路1525號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種對準系統(tǒng)及對準方法，該對準系統(tǒng)包括：掩模版，提供投影曝光圖案和對準標記；投影物鏡焦面測量標記，設置于所述掩模版上；投影物鏡，對掩模版上的曝光圖案、標記成像到硅片方像方焦面；工件臺，承載有同軸鏡頭、基準板和硅片，其中同軸鏡頭對對準標記、投影物鏡焦面測量標記和調(diào)焦標記進行成像，基準板承載有調(diào)焦標記和參考標記，并提供水平向和垂向測量基準，硅片承載有硅片對準標記；調(diào)焦調(diào)平系統(tǒng)，對硅片表面調(diào)平，控制硅片上表面與硅片焦面重合；離軸對準系統(tǒng)，對硅片圖案對準。本發(fā)明旨在為調(diào)焦調(diào)平、對準、焦面探測建立統(tǒng)一的測量基準，提高垂向、水平向測量分系統(tǒng)對溫度變化等情況的適應能力。