一種用于半導體設備的供水裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720682040.8 申請日 -
公開（公告）號 CN206992057U 公開（公告）日 2018-02-09
申請公布號 CN206992057U 申請公布日 2018-02-09
分類號 H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 馬繼勇 申請（專利權(quán)）人 蘇州萬琦威電子技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 南京利豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 蘇州萬琦威電子技術(shù)有限公司;蘇州冠韻威電子技術(shù)有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)宏業(yè)路158號聯(lián)發(fā)工業(yè)園7幢2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種用于半導體設備的供水裝置，包括：輸水管道；閥門，安裝于所述輸水管道上，包括與所述輸水管道連通的閥座、以及設置于閥座上的閥門關(guān)閉部件；控溫組件，包括包覆于所述輸水管道外側(cè)、和/或閥座外側(cè)的加熱組件、電源線和電源接頭，所述電源線電性連接于所述加熱組件和電源接頭之間，所述加熱組件包括第一加熱體、第二加熱體和纏繞帶，所述第一加熱體和第二加熱體通過拼接方式包覆于所述輸水管道或閥座的外側(cè)，所述纏繞帶包覆于所述第一加熱體或第二加熱體的外側(cè)并將所述第一加熱體和第二加熱體固定于所述輸水管道或閥座的外表面。本新型通過對閥座和輸水管道的溫度進行控制，可以輸出恒溫的用水。