一種硅異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池用TCO薄膜的制作設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020646558.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211929515U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-11-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211929515U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-13 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L31/18(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 劉正新;謝毅;石建華;孟凡英;周華 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 中威新能源（成都）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都時(shí)譽(yù)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 中威新能源（成都）有限公司 |
| 地址 | 610000四川省成都市雙流西南航空港經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)內(nèi) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種硅異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池用TCO薄膜的制作設(shè)備，硅片導(dǎo)入腔和/或沉積腔和/或緩沖腔安裝有真空泵、加熱器和冷凝泵，利用真空泵、加熱器和冷凝泵，真空泵和冷凝泵配合使用，設(shè)備能夠快速排除腔室內(nèi)的水氣，降低腔室中的水氣分壓，并將水氣分壓保持在1x10?3Pa以下；所述沉積腔和/或緩沖腔還安裝有水氣供給裝置，能夠向相應(yīng)腔室內(nèi)供應(yīng)水氣，從而將水氣分壓穩(wěn)定在1x10?5Pa以上，避免TCO薄膜產(chǎn)生脫落。針對(duì)硅異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池制作過(guò)程中水氣含量高、受工況和環(huán)境影響波動(dòng)范圍大，影響太陽(yáng)電池性能的問(wèn)題，有效控制薄膜制作環(huán)境中水氣含量，提高TCO薄膜性能和穩(wěn)定性，從而提高太陽(yáng)電池性能和制程的穩(wěn)定性。?? |
