一種異質(zhì)結(jié)電池生產(chǎn)中制絨絨面處理的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010408459.0 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN111430478B 公開（公告）日 2021-07-27
申請公布號(hào) CN111430478B 申請公布日 2021-07-27
分類號(hào) H01L31/0236（2006.01）I;H01L31/072（2012.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫林;孟凡英;杜俊霖;劉正新;陳功兵;何堂貴 申請（專利權(quán)）人 中威新能源（成都）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都時(shí)譽(yù)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 汪林
地址 610000四川省成都市雙流西南航空港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種異質(zhì)結(jié)電池生產(chǎn)中制絨絨面處理的方法，在制絨設(shè)備的化學(xué)拋光工藝槽中槽體藥液采用脈沖循環(huán)方式處理硅片；本發(fā)明的有益效果是：采用脈沖循環(huán)使硅片絨面圓化更加均勻；利用脈沖循環(huán)比確定脈沖循環(huán)的時(shí)間節(jié)點(diǎn)與時(shí)間長度，實(shí)現(xiàn)藥液擾動(dòng)，保證硅片在化學(xué)拋光工藝中反應(yīng)固定均勻，實(shí)現(xiàn)外觀絨面均勻；利用脈沖循環(huán)階段通入臭氧的處理方式，實(shí)現(xiàn)臭氧進(jìn)入化學(xué)拋光工藝的反應(yīng)分解在槽內(nèi)濃度穩(wěn)定；同時(shí)該脈沖循環(huán)方式適用于氫氟酸和硝酸的混合酸液的常規(guī)化學(xué)拋光。