超大尺寸長方體熔融石英坩堝的制備方法及其用于生產(chǎn)空心方硅芯的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110820233.6 申請日 -
公開(公告)號 CN113443903A 公開(公告)日 2021-09-28
申請公布號 CN113443903A 申請公布日 2021-09-28
分類號 C04B35/14(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C04B35/624(2006.01)I;C04B41/89(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;C30B33/06(2006.01)I;C01B33/029(2006.01)I;C01B33/03(2006.01)I 分類 水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 李健;劉麗麗;高源 申請(專利權(quán))人 煙臺核晶陶瓷新材料有限公司
代理機構(gòu) 北京中創(chuàng)博騰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 李艷艷
地址 264000山東省煙臺市棲霞市迎賓路1928號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及超大尺寸長方體熔融石英坩堝的制備及其用于生產(chǎn)空心方硅芯的方法,屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,所述熔融石英坩堝的制備方法包括如下步驟:石英漿料的制備、超大尺寸長方體熔融石英坩堝坯體的制備、熔融石英坩堝的燒結(jié)、高純石英涂層的涂覆、氮化硅涂層的涂覆。所述的超大尺寸長方體熔融石英坩堝用于生產(chǎn)空心方硅芯的方法包括:多晶硅鑄錠制備、線切硅板/硅條、將硅板/硅條連接成空心方硅芯。本發(fā)明中涉及的用超大尺寸長方體熔融石英坩堝生產(chǎn)的空心方硅芯可以起到提升還原爐產(chǎn)出多晶硅的效率和品質(zhì)的優(yōu)點,有利于多晶硅生產(chǎn)企業(yè)降低成本、增強競爭能力。