超大尺寸長方體熔融石英坩堝的制備方法及其用于生產(chǎn)空心方硅芯的方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202110820233.6 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN113443903A | 公開(公告)日 | 2021-09-28 |
申請公布號 | CN113443903A | 申請公布日 | 2021-09-28 |
分類號 | C04B35/14(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C04B35/624(2006.01)I;C04B41/89(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;C30B33/06(2006.01)I;C01B33/029(2006.01)I;C01B33/03(2006.01)I | 分類 | 水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料〔4〕; |
發(fā)明人 | 李健;劉麗麗;高源 | 申請(專利權(quán))人 | 煙臺核晶陶瓷新材料有限公司 |
代理機構(gòu) | 北京中創(chuàng)博騰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 李艷艷 |
地址 | 264000山東省煙臺市棲霞市迎賓路1928號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明涉及超大尺寸長方體熔融石英坩堝的制備及其用于生產(chǎn)空心方硅芯的方法,屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,所述熔融石英坩堝的制備方法包括如下步驟:石英漿料的制備、超大尺寸長方體熔融石英坩堝坯體的制備、熔融石英坩堝的燒結(jié)、高純石英涂層的涂覆、氮化硅涂層的涂覆。所述的超大尺寸長方體熔融石英坩堝用于生產(chǎn)空心方硅芯的方法包括:多晶硅鑄錠制備、線切硅板/硅條、將硅板/硅條連接成空心方硅芯。本發(fā)明中涉及的用超大尺寸長方體熔融石英坩堝生產(chǎn)的空心方硅芯可以起到提升還原爐產(chǎn)出多晶硅的效率和品質(zhì)的優(yōu)點,有利于多晶硅生產(chǎn)企業(yè)降低成本、增強競爭能力。 |
