一種芯片生產(chǎn)用方便送料的刻蝕機(jī)
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202022325722.8 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN213304074U | 公開(公告)日 | 2021-05-28 |
申請公布號 | CN213304074U | 申請公布日 | 2021-05-28 |
分類號 | H01L21/67(2006.01);H01J37/32(2006.01) | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 陳爾城 | 申請(專利權(quán))人 | 沈陽航科智能系統(tǒng)有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 沈陽新科知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) | 代理人 | 史衛(wèi)民 |
地址 | 110000 遼寧省沈陽市沈撫新區(qū)金楓街75-1號0301 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種芯片生產(chǎn)用方便送料的刻蝕機(jī),包括底座,所述底座的頂部固定安裝有密封箱,所述密封箱的正面通過鉸鏈鉸接有密封門,所述底座內(nèi)部的兩側(cè)均固定安裝有第一安裝桿,所述第一安裝桿相對靠近的一側(cè)均固定安裝有兩個(gè)放置桿,所述底座的頂部固定安裝有第二安裝桿,所述第二安裝桿的底部設(shè)置有安裝底板。本實(shí)用新型通過設(shè)置底座用于對密封箱進(jìn)行安裝,通過設(shè)置密封箱用于對物體進(jìn)行刻蝕,通過設(shè)置密封門用于將物體送至密封箱的內(nèi)部,同時(shí)與密封箱密封使得密封箱內(nèi)部產(chǎn)生真空,同時(shí)解決了現(xiàn)有的刻蝕機(jī)較大,其刻蝕設(shè)備位于機(jī)體的中部不方便送料,從而導(dǎo)致生產(chǎn)效率低下的問題。 |
