一種芯片生產(chǎn)用方便送料的刻蝕機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022325722.8 申請日 -
公開（公告）號 CN213304074U 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN213304074U 申請公布日 2021-05-28
分類號 H01L21/67（2006.01）;H01J37/32（2006.01） 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳爾城 申請（專利權(quán)）人 沈陽航科智能系統(tǒng)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽新科知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 史衛(wèi)民
地址 110000 遼寧省沈陽市沈撫新區(qū)金楓街75-1號0301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種芯片生產(chǎn)用方便送料的刻蝕機(jī)，包括底座，所述底座的頂部固定安裝有密封箱，所述密封箱的正面通過鉸鏈鉸接有密封門，所述底座內(nèi)部的兩側(cè)均固定安裝有第一安裝桿，所述第一安裝桿相對靠近的一側(cè)均固定安裝有兩個(gè)放置桿，所述底座的頂部固定安裝有第二安裝桿，所述第二安裝桿的底部設(shè)置有安裝底板。本實(shí)用新型通過設(shè)置底座用于對密封箱進(jìn)行安裝，通過設(shè)置密封箱用于對物體進(jìn)行刻蝕，通過設(shè)置密封門用于將物體送至密封箱的內(nèi)部，同時(shí)與密封箱密封使得密封箱內(nèi)部產(chǎn)生真空，同時(shí)解決了現(xiàn)有的刻蝕機(jī)較大，其刻蝕設(shè)備位于機(jī)體的中部不方便送料，從而導(dǎo)致生產(chǎn)效率低下的問題。