含有探針卡的測試系統(tǒng)、方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110804740.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113589138A 公開（公告）日 2021-11-02
申請公布號 CN113589138A 申請公布日 2021-11-02
分類號 G01R31/28（2006.01）I;G01S7/497（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李利民;雷述宇;張冰;劉志翔 申請（專利權(quán)）人 蘇州芯邁智能科技有限公司
代理機構(gòu) 蘇州中合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙曉芳
地址 215000江蘇省蘇州市中國（江蘇）自由貿(mào)易試驗區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)現(xiàn)代大道88號6層6-038工位（集群登記）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本方案涉及一種含有探針卡的測試系統(tǒng)、方法。所述系統(tǒng)包括：探針卡、光源系統(tǒng)、被測TOF芯片晶圓、中控單元、測試頭；探針卡上設(shè)置有若干鏤空區(qū)域；光源系統(tǒng)設(shè)置在探針卡上方，包括頂部直流光源、勻光板、半透半反鏡、底部脈沖光源；頂部直流光源設(shè)置在勻光板頂部；若干層勻光板平行設(shè)置在半透半反鏡上方，直流光信號垂直照射在被測TOF芯片晶圓表面；底部脈沖光源設(shè)置在探針卡一側(cè)的頂部；脈沖光信號傾斜照射在被測TOF芯片晶圓表面；中控單元用于控制測試頭工作，得到測試結(jié)果。在探針卡上方設(shè)置光源系統(tǒng)，無需采購光源，降低了成本；且不需要單獨的光源發(fā)生設(shè)備，降低了測試系統(tǒng)的占地面積。