基于TOF芯片晶圓的圖像測試系統(tǒng)、方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110804949.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113589139A 公開（公告）日 2021-11-02
申請公布號 CN113589139A 申請公布日 2021-11-02
分類號 G01R31/28（2006.01）I;G01S7/497（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李利民;李磊;穆范全 申請（專利權）人 蘇州芯邁智能科技有限公司
代理機構 蘇州中合知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 趙曉芳
地址 215000江蘇省蘇州市中國（江蘇）自由貿(mào)易試驗區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)現(xiàn)代大道88號6層6-038工位（集群登記）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本方案涉及一種基于TOF芯片晶圓的圖像測試系統(tǒng)、方法。所述系統(tǒng)包括：測試頭、光源系統(tǒng)、中控單元、探針卡、被測TOF芯片晶圓；測試頭中連接有圖像采集及激光驅(qū)動模塊化（ICLD）板卡；探針卡與被測TOF芯片晶圓相連；探針卡與中控單元連接，且中控單元與測試頭連接；ICLD板卡與光源系統(tǒng)連接；板卡內(nèi)置可編程門陣列，可編程門陣列驅(qū)動光源系統(tǒng)產(chǎn)生光源；光源照射在被測TOF芯片晶圓上，探針卡采集圖像數(shù)據(jù)，由可編程門陣列內(nèi)部緩存，并將圖像數(shù)據(jù)緩存在ICLD板卡中；ICLD板卡將圖像數(shù)據(jù)傳輸至測試頭中進行圖像測試，得到測試結果。通過在測試頭中連接ICLD板卡采集圖像數(shù)據(jù)，并傳輸至測試頭中進行圖像測試，降低了圖像測試的成本。