一種多晶硅片制絨裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020384499.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211897171U | 公開（公告）日 | 2020-11-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211897171U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-10 |
| 分類號(hào) | C30B33/10(2006.01)I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 傅華;高小云;劉兵;金炳生 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 晶瑞電子材料股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州國(guó)誠(chéng)專利代理有限公司 | 代理人 | 王麗 |
| 地址 | 215000 江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)河?xùn)|工業(yè)園善豐路168號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種多晶硅片制絨裝置，包括容置有制絨液的制絨槽以及安裝在制絨槽內(nèi)用于承載并帶動(dòng)多晶硅片移動(dòng)的若干移動(dòng)輥，制絨槽的頂端開口，制絨槽的底端設(shè)置有多個(gè)進(jìn)液管，制絨液通過多個(gè)進(jìn)液管進(jìn)入制絨槽內(nèi)；制絨槽的兩側(cè)還設(shè)置有一對(duì)貫穿口，多晶硅片通過一對(duì)貫穿口穿過制絨槽；若干移動(dòng)輥轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在制液槽內(nèi)用于帶動(dòng)多晶硅片進(jìn)行移動(dòng)；單個(gè)移動(dòng)輥上設(shè)置有用于承載多晶硅片的環(huán)形容置槽；制絨槽上設(shè)置有電加熱管。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制絨槽包括內(nèi)殼體和外殼體，在內(nèi)殼體和外殼體之間的間隙內(nèi)設(shè)置有多個(gè)電加熱管，通過加熱的方式提高溫度，尤其是在低溫環(huán)境下，能夠有效提高制絨效率，方便實(shí)用。?? |
