一種蝕刻液及其制備方法和應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110928638.1 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113773840A 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號(hào) CN113773840A 申請公布日 2021-12-10
分類號(hào) C09K13/06（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 金炳生;劉耀鵬;高小云;劉兵 申請（專利權(quán)）人 晶瑞電子材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 向亞蘭
地址 215000江蘇省蘇州市吳中區(qū)吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)河?xùn)|工業(yè)園善豐路168號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種蝕刻液及其制備方法和應(yīng)用，該蝕刻液含有（A）醋酸、（B）鹽酸、（C）調(diào)控劑及（D）水；調(diào)控劑包含式（Ⅰ）所示的含有氨基苯基的化合物和/或聚苯胺，調(diào)控劑以無機(jī)酸鹽形式存在，1?6式中，R為H、C的烷基或制備方法包括：按配方量將各成分混合，分散，過濾，濾液為蝕刻液；及上述蝕刻液在蝕刻氧化銦系膜中的應(yīng)用；該蝕刻液能夠降低對鋁布線的腐蝕，且提升對氧化銦的蝕刻容量，體系穩(wěn)定性好，對有機(jī)膜、氮化硅及玻璃等的殘?jiān)?yōu)異等性能優(yōu)點(diǎn)。