金剛線切割多晶硅片制絨調(diào)控劑及含該調(diào)控劑的制絨劑

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910431058.4 申請日 -
公開（公告）號 CN110137079B 公開（公告）日 2021-08-13
申請公布號 CN110137079B 申請公布日 2021-08-13
分類號 H01L21/306;H01L31/20 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 金炳生;陳浩;高小云;劉兵 申請（專利權(quán)）人 晶瑞電子材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州國誠專利代理有限公司 代理人 王麗
地址 215000 江蘇省蘇州市吳中開發(fā)區(qū)善豐路168號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種金剛線切割多晶硅片制絨調(diào)控劑，按質(zhì)量百分計(jì)包括以下組分：成膜劑0.01％?1％、酸性物質(zhì)0.01％?1％、潤濕劑0.1％?1％，余量為去離子水。本發(fā)明還公開了一種包含該制絨調(diào)控劑的制絨劑。本發(fā)明的調(diào)控劑應(yīng)用于制絨劑中，在金剛線切割多晶硅片進(jìn)行制絨的過程中，能夠調(diào)節(jié)其中的酸與硅的反應(yīng)，形成硅片微孔結(jié)構(gòu)，使得多晶硅片不僅具有分布均勻的微孔結(jié)構(gòu)，而且微孔大小均一，沒有連孔、深孔，形成的這種結(jié)構(gòu)可以降低對光的反射率，提高對光的吸收率；且該調(diào)控劑的配制工藝簡單，原料廉價(jià)易得，不含對環(huán)境有害的物質(zhì)，是一種綠色環(huán)保產(chǎn)品。