一種具有低反射低霧度的金屬網(wǎng)格傳感器及其制備工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110455609.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113215555A 公開（公告）日 2021-08-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN113215555A 申請(qǐng)公布日 2021-08-06
分類號(hào) C23C18/16（2006.01）I;C23C18/38（2006.01）I;G03F7/004（2006.01）I;G03F7/09（2006.01）I;G03F7/11（2006.01）I;G03F7/16（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 方瑩;謝才興 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇軟訊科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李帥
地址 213000江蘇省常州市天寧區(qū)藍(lán)天路158號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有低反射低霧度的金屬網(wǎng)格傳感器及其制備工藝，包括以下步驟：（1）涂布：取基底，在其上表面和下表面涂布有色光刻膠，固化形成光刻膠層，在光刻膠層的表面涂布催化劑溶液，固化形成催化劑層；（2）曝光：對(duì)上一步驟得到的基底進(jìn)行雙面同時(shí)曝光；（3）顯影：利用顯影液對(duì)上一步驟得到的基底進(jìn)行顯影處理；（4）化銅：利用鍍銅液形成金屬層；（5）黑化：形成黑化層；（6）制備保護(hù)層。本發(fā)明通過有色光刻膠的設(shè)置，降低所制金屬網(wǎng)格底部的反射率，黑化降低所制金屬網(wǎng)格表面的反射率，降低所制金屬網(wǎng)格在金屬網(wǎng)格傳感器雙面的反射率和霧度，使得金屬網(wǎng)格的圖案不易觀察，從而提高金屬網(wǎng)格傳感器的透過率和外觀效果。