一種一體化耐高溫壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022627472.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213842472U 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN213842472U 申請公布日 2021-07-30
分類號 G01L1/00（2006.01）I;G01L1/26（2006.01）I;G01L19/04（2006.01）I;G01L19/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳飛;徐軒;張波 申請（專利權(quán)）人 武漢中航傳感技術(shù)有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 莫冬麗
地址 430000湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)高新大道999號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種一體化耐高溫壓力傳感器，包括壓力管座，所述壓力管座的下表面設(shè)置有外殼，且壓力管座的上表面設(shè)置有繞線件，所述壓力管座的內(nèi)部設(shè)置有CMOS集成電路，所述外殼的內(nèi)部設(shè)置有壓力芯片。本實(shí)用新型涉及壓力傳感器技術(shù)領(lǐng)域，該一體化耐高溫壓力傳感器，通過COMS集成電路與壓力芯片集成封裝技術(shù)實(shí)現(xiàn)壓力傳感器一體化設(shè)計(jì)，從而實(shí)現(xiàn)小型化的設(shè)計(jì)；壓力芯片與安裝座靜電鍵合連接技術(shù)，使得傳感器可在250℃環(huán)境下長期使用，滿足傳感器耐高溫需求，芯片能夠長期在?55℃～250℃的高寬溫區(qū)內(nèi)進(jìn)行壓力測量，能在不同環(huán)境下測量，代替了傳統(tǒng)壓力傳感器只能在150℃的環(huán)境下進(jìn)行工作，進(jìn)而延長了該壓力傳感器的使用壽命。