一種LED芯片全景掃描匹配方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201010146190.X 申請日 -
公開（公告）號 CN101813636B 公開（公告）日 2012-10-10
申請公布號 CN101813636B 申請公布日 2012-10-10
分類號 G01N21/84(2006.01)I;G01B11/03(2006.01)I;B07C5/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 吳濤;李斌;龔時華;黃禹;李海洲;王龍文;林康華 申請（專利權）人 東莞華科精密矽電設備有限公司
代理機構 東莞市華南專利商標事務所有限公司 代理人 廣東志成華科光電設備有限公司;東莞華中科技大學制造工程研究院;東莞市華科制造工程研究院有限公司
地址 523808 廣東省東莞市松山湖科技產業(yè)園區(qū)科技九路1號研發(fā)樓310室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種LED芯片全景掃描匹配方法，包括：(1)檢測設備對晶圓表面進行掃描并檢測；(2)晶圓移送到分選設備；(3)分選設備對晶圓表面的LED芯片進行分選。步驟(1)包括：參數(shù)設置、掃描、拼接和去重，獲得LED芯片位置與其參數(shù)信息的對照表RelationSheet1。步驟(3)包括：(31)分選設備對晶圓進行查找，獲得LED芯片與其位置的對照表RelationSheet2；(32)將表RelationSheet1中的LED芯片的參數(shù)信息與RelationSheet2中的LED芯片的位置匹配，獲得芯片的位置與參數(shù)關系的RelationSheet3；(33)分選。本發(fā)明的匹配準確，適應范圍寬。