一種應(yīng)用于芯片分選系統(tǒng)的晶粒角度校正方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201010019276.6 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN101780456B | 公開(公告)日 | 2013-01-23 |
申請公布號 | CN101780456B | 申請公布日 | 2013-01-23 |
分類號 | B07C5/02(2006.01)I | 分類 | 將固體從固體中分離;分選; |
發(fā)明人 | 李斌;吳濤;黃禹;李海洲;龔時華;王龍文;林康華 | 申請(專利權(quán))人 | 東莞華科精密矽電設(shè)備有限公司 |
代理機構(gòu) | 東莞市華南專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 廣東志成華科光電設(shè)備有限公司;東莞華中科技大學(xué)制造工程研究院;東莞市華科制造工程研究院有限公司 |
地址 | 523808 東莞市松山湖科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)科技九路1號研發(fā)樓310室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種應(yīng)用于芯片分選系統(tǒng)的晶粒角度校正方法,主要包括:對目標(biāo)晶粒的偏轉(zhuǎn)角度α進行判斷,若目標(biāo)晶粒的偏轉(zhuǎn)角度α為正時,則驅(qū)動晶粒移送機構(gòu)的擺臂旋轉(zhuǎn)90°-α,同時對排列區(qū)執(zhí)行差α偏轉(zhuǎn)角度的位置補償,將目標(biāo)晶粒放置排列區(qū);若目標(biāo)晶粒的偏轉(zhuǎn)角度α為負時,則驅(qū)動晶粒移送機構(gòu)的擺臂旋轉(zhuǎn)90°+α,同時對排列區(qū)執(zhí)行多α偏轉(zhuǎn)角度的位置補償,將目標(biāo)晶粒放置排列區(qū);若目標(biāo)晶粒的偏轉(zhuǎn)角度α為0°時,則驅(qū)動晶粒移送機構(gòu)的擺臂旋轉(zhuǎn)90°,直接將目標(biāo)晶粒放置排列區(qū)。本發(fā)明結(jié)合晶粒移送機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)運動和排列區(qū)的平移運動來補償晶粒的角度偏差,在供料區(qū)與排列區(qū)位置補償之間進行并行調(diào)度,在不降低移送速度的情況下實現(xiàn)了晶粒角度的自校正。 |
