芯片分揀設(shè)備的頂針機(jī)構(gòu)
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN200910266233.5 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN101740451B | 公開(kāi)(公告)日 | 2011-12-07 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN101740451B | 申請(qǐng)公布日 | 2011-12-07 |
分類號(hào) | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 李斌;黃禹;鄭振華;吳濤;李海洲;龔時(shí)華;尹旭升 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 東莞華科精密矽電設(shè)備有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 東莞市華南專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 廣東志成華科光電設(shè)備有限公司;東莞華中科技大學(xué)制造工程研究院;東莞市華科制造工程研究院有限公司 |
地址 | 523808 廣東省東莞市松山湖科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)科技九路1號(hào)研發(fā)樓310室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 芯片分揀設(shè)備的頂針機(jī)構(gòu),包括機(jī)架,固定于機(jī)架的套筒,可升降地設(shè)置于套筒內(nèi)的頂針軸,固定于頂針軸頂端的頂針,以及驅(qū)動(dòng)頂針軸上下運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),頂針軸外緣與套筒內(nèi)緣之間形成有負(fù)壓腔,負(fù)壓腔頂部封蓋有頂蓋,該頂蓋開(kāi)設(shè)有通氣孔及供頂針伸出的針孔,頂針軸內(nèi)開(kāi)設(shè)有連通負(fù)壓腔的排氣通道,該排氣通道通過(guò)設(shè)置于頂針軸下部的氣動(dòng)接頭與負(fù)壓裝置連接;工作時(shí),負(fù)壓裝置啟動(dòng),抽取負(fù)壓腔內(nèi)的空氣,通過(guò)通氣孔吸附頂蓋上方的翻晶膜,當(dāng)頂針伸出并刺破翻晶膜時(shí),僅有吸附于頂蓋表面的部分翻晶膜變形,頂針行程縮短,提高了分揀效率,且延長(zhǎng)了使用壽命。 |
