應(yīng)用于槽式顯影機(jī)的芯片制造輔助組件及系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021553481.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212750815U | 公開（公告）日 | 2021-03-19 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212750815U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-19 |
| 分類號(hào) | G03F7/30(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 石也琛;李躍輝 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 吉林麥吉柯半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都極刻智慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張紅平 |
| 地址 | 132000吉林省吉林市高新區(qū)深圳街99號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種應(yīng)用于槽式顯影機(jī)的芯片制造輔助組件及系統(tǒng)，芯片制造輔助組件的第一傳動(dòng)件通過固定件固定連接于第二傳動(dòng)件，懸吊件固定連接于第一傳動(dòng)件，懸吊件遠(yuǎn)離第一傳動(dòng)件的一端設(shè)置有用于掛持芯片收容筐的掛持件。其中，第一傳動(dòng)件用于帶動(dòng)懸吊件沿第一方向作往復(fù)運(yùn)動(dòng)，第二傳動(dòng)件用于帶動(dòng)第一傳動(dòng)件沿第二方向作往復(fù)運(yùn)動(dòng)以間接帶動(dòng)懸吊件沿第二方向作往復(fù)運(yùn)動(dòng)。如此，懸吊件能夠在第一傳動(dòng)件和第二傳動(dòng)件的互相配合下將掛持于掛持件的芯片收容筐交替地浸泡于槽式顯影機(jī)所開設(shè)的顯影槽和沖水槽中，從而實(shí)現(xiàn)芯片在顯影槽和沖水槽之間的平穩(wěn)轉(zhuǎn)移，進(jìn)而避免顯影槽和沖水槽中的腐蝕液的迸濺。?? |
