一種晶圓顯影承載機(jī)構(gòu)及顯影機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821990973.4 申請日 -
公開（公告）號 CN208937913U 公開（公告）日 2019-06-04
申請公布號 CN208937913U 申請公布日 2019-06-04
分類號 G03F7/30（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 張昊 申請（專利權(quán)）人 吉林麥吉柯半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吉林麥吉柯半導(dǎo)體有限公司
地址 132000 吉林省吉林市高新區(qū)深圳街99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種晶圓顯影承載機(jī)構(gòu)及顯影機(jī)，屬于顯影技術(shù)領(lǐng)域。其包括活動組件；用于支撐活動組件的固定組件，活動組件可移動地安裝在固定組件上；用于驅(qū)動活動組件在固定組件上進(jìn)行移動的驅(qū)動組件，驅(qū)動組件與活動組件傳動連接。該裝置用于晶圓的自動機(jī)械化清洗，結(jié)構(gòu)簡單且使用便捷。