低壓化學(xué)氣相沉積爐管和低壓化學(xué)氣相沉積爐
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201822129699.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN209468499U | 公開（公告）日 | 2019-10-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN209468499U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-10-08 |
| 分類號(hào) | C23C16/44 | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 趙超 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 吉林麥吉柯半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 吉林麥吉柯半導(dǎo)體有限公司 |
| 地址 | 132000 吉林省吉林市高新區(qū)深圳街99號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開一種低壓化學(xué)氣相沉積爐管和低壓化學(xué)氣相沉積爐，包括反應(yīng)室，以及套設(shè)在反應(yīng)室外的爐管恒溫層，反應(yīng)室內(nèi)徑在230mm至232mm之間，外徑在240mm至242mm之間，爐管恒溫層為兩端開口的空心管狀，爐管恒溫層內(nèi)徑在258mm至262mm之間，外徑在330mm至350mm之間，爐管恒溫層內(nèi)壁繞設(shè)爐絲，爐絲可外接電源加熱。滿足爐管外壁外徑在330mm至350mm之間，實(shí)現(xiàn)制作最大尺寸產(chǎn)品為6寸硅片，相比現(xiàn)有制作6寸產(chǎn)品的設(shè)備，減小爐體體積，解決爐體占地面積大的問(wèn)題。整個(gè)爐體其他系統(tǒng)都維持了原有制作5寸產(chǎn)品的能耗，解決了能耗高的問(wèn)題。 |
