推拉控制設備和擴散爐系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110635720.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113340125A 公開（公告）日 2021-09-03
申請公布號 CN113340125A 申請公布日 2021-09-03
分類號 F27D19/00（2006.01）I 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 劉大力 申請（專利權）人 吉林麥吉柯半導體有限公司
代理機構 成都極刻智慧知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 宋江
地址 132000吉林省吉林市高新區(qū)深圳街99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┑耐评刂圃O備和擴散爐系統(tǒng)，涉及半導體器件生產(chǎn)技術領域。在本申請中，推拉控制設備用于對擴散爐的推拉舟進行驅(qū)動，推拉控制設備包括步進電機、電機驅(qū)動器、可編程控制器、第一繼電器和終端控制設備。終端控制設備用于根據(jù)設定觸發(fā)信號控制第一繼電器輸出第一控制信號給可編程控制器，可編程控制器基于第一控制信號輸出第一脈沖信號給電機驅(qū)動器，電機驅(qū)動器基于第一脈沖信號驅(qū)動步進電機帶動推拉舟運動出擴散腔室。基于上述設置，可以改善現(xiàn)有技術中半導體器件的生產(chǎn)效率較低和產(chǎn)品質(zhì)量不佳的問題。