一種砷烷的合成提純方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011385329.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112520699A 公開(kāi)（公告）日 2021-03-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN112520699A 申請(qǐng)公布日 2021-03-19
分類號(hào) C01B6/06;C01B6/34 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 陳國(guó)富;龔施健;于勝;陳金彬;林海寧 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市博純半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州博士科創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 梁志標(biāo)
地址 518000 廣東省深圳市福田區(qū)福保街道石廈社區(qū)石廈北二街西新天世紀(jì)商務(wù)中心A.B座B3710
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種砷烷的合成提純方法，包括：步驟一：將鋅粉和砷粉放入石英器皿內(nèi)混合均勻再置于不銹鋼反應(yīng)罐內(nèi)抽真空并充入高純惰性氣體，加壓加熱得到砷化鋅粉末；步驟二，砷化鋅粉末至于反應(yīng)器中，加入稀硫酸反應(yīng)生成粗制砷烷氣體；步驟三，將粗制砷烷氣體通入吸附裝置得到砷烷氣體；步驟四，使用液氮冷阱捕集砷烷氣體，使砷烷氣體冷凝為液態(tài)砷烷，使用真空泵抽去不凝氣體并取下冷肼外的液氮罐，使砷烷揮發(fā)，得到純凈的砷烷氣體；步驟五：將純凈的砷烷氣體通入預(yù)先處理過(guò)的潔凈鋼瓶中進(jìn)行保存，得到成品。能夠有效減少砷烷氣體內(nèi)的雜質(zhì)，提高本發(fā)明所述砷烷的純度，同時(shí)，將吸附劑的加入和分子篩的選擇放在一個(gè)裝置內(nèi)進(jìn)行能夠提高反應(yīng)效率。