乙硅烷的生產(chǎn)提純工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011274073.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112158847A 公開（公告）日 2021-01-01
申請公布號 CN112158847A 申請公布日 2021-01-01
分類號 C01B33/04 分類 無機化學(xué);
發(fā)明人 陳國富;龔施健;于勝;陳金彬;林海寧 申請（專利權(quán)）人 深圳市博純半導(dǎo)體材料有限公司
代理機構(gòu) 廣州博士科創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 梁志標
地址 518000 廣東省深圳市福田區(qū)福保街道石廈社區(qū)石廈北二街西新天世紀商務(wù)中心A.B座B3710
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種乙硅烷的生產(chǎn)提純工藝，該乙硅烷的生產(chǎn)提純工藝包括檢測與所述反應(yīng)釜連接的吸附管道的底面內(nèi)壁上設(shè)置的壓力感應(yīng)器的在預(yù)設(shè)時間周期內(nèi)的數(shù)值變化，所述反應(yīng)釜上還設(shè)置有氣體出口，將第一反應(yīng)溶液和第二反應(yīng)溶液進行化學(xué)反應(yīng)生成的生成物利用氣體出口通過導(dǎo)氣管導(dǎo)入吸附管道內(nèi)；根據(jù)所述數(shù)值變化，調(diào)節(jié)設(shè)置在第一進液口上的第一閥和設(shè)置在第二進液口上的第二閥，所述第一閥、所述第二閥和所述壓力感應(yīng)器分別與控制單元連接，所述控制單元設(shè)置在所述反應(yīng)釜的外壁上，以調(diào)節(jié)所述反應(yīng)釜內(nèi)第一反應(yīng)溶液和第二反應(yīng)溶液的添加量。本發(fā)明可以提高乙硅烷的產(chǎn)出率其能夠提高純度。