一種乙硼烷合成系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011380643.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112452278A 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN112452278A 申請公布日 2021-07-16
分類號 B01J19/18;B01J4/00;C01B6/10 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 陳國富;龔施健;于勝;陳金彬;林海寧 申請（專利權(quán)）人 深圳市博純半導(dǎo)體材料有限公司
代理機構(gòu) 廣州博士科創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 梁志標
地址 518000 廣東省深圳市福田區(qū)福保街道石廈社區(qū)石廈北二街西新天世紀商務(wù)中心A.B座B3710
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種乙硼烷合成系統(tǒng)及方法。所述乙硼烷合成系統(tǒng)包括罐體、罐蓋、電磁攪拌器、排液管、氣壓傳感器、進料管、第一排氣管、第二排氣管、保溫層和控制器，所述罐體頂部封裝固定有罐蓋，所述罐蓋表面連接有進料管、第一排氣管和第二排氣管，且罐蓋表面安裝有氣壓傳感器，所述罐體內(nèi)部底端安裝有電磁攪拌器，所述罐體底部邊緣連接有排液管，所述罐體外壁安裝有控制器。本發(fā)明采用調(diào)壓器對罐體內(nèi)部進行及時的氣壓調(diào)節(jié)，有效避免反應(yīng)生成氣體與頻繁進出氣體對反應(yīng)環(huán)境的氣壓影響，極大保障反應(yīng)的穩(wěn)定性，同時采用恒溫器和供氣裝置對設(shè)備內(nèi)部氣體進行循環(huán)穩(wěn)定調(diào)節(jié)，配合氣體直接均勻的噴入反應(yīng)液中，極大提高穩(wěn)定調(diào)節(jié)的效率與均勻性。