晶圓輸送盒開合蓋裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123149847.0 申請日 -
公開（公告）號 CN216773203U 公開（公告）日 2022-06-17
申請公布號 CN216773203U 申請公布日 2022-06-17
分類號 H01L21/677（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 梁猛;趙凱;林海濤;李彬;邵迪 申請（專利權）人 上海世禹精密設備股份有限公司
代理機構 上海遠同律師事務所 代理人 -
地址 201600上海市松江區(qū)九亭鎮(zhèn)連富路1589號3幢101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種晶圓輸送盒開合蓋裝置，包括開蓋機構、機械臂和設于機械臂前端的夾持機構；開蓋機構包括工作表面、真空發(fā)生器、兩個鑰匙和鑰匙驅動裝置，所述工作表面上設置有至少一個連通真空發(fā)生器的吸嘴；鑰匙設立于工作表面上并受鑰匙驅動裝置驅動轉動；夾持機構具有基座、設置于基座上的導軌和位置傳感器、定夾持件、活動設置于導軌上的動夾持件，以及驅動動夾持件沿導軌向靠近所述定夾持件的方向運動，以對工件進行夾持的夾持驅動裝置。其優(yōu)點是：本機構配合晶圓輸送盒水洗機工作，其全自動智能運行，大幅減少人力、速度快、效率高、減少了清洗晶圓輸送盒后再次污染晶圓輸送盒的可能。并且有晶圓輸送盒的倉儲區(qū)，適應水洗機的工作原理。