晶圓輸送盒開合蓋裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123149847.0 申請日 -
公開（公告）號 CN216773203U 公開（公告）日 2022-06-17
申請公布號 CN216773203U 申請公布日 2022-06-17
分類號 H01L21/677（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 梁猛;趙凱;林海濤;李彬;邵迪 申請（專利權(quán)）人 上海世禹精密設(shè)備股份有限公司
代理機構(gòu) 上海遠(yuǎn)同律師事務(wù)所 代理人 -
地址 201600上海市松江區(qū)九亭鎮(zhèn)連富路1589號3幢101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種晶圓輸送盒開合蓋裝置，包括開蓋機構(gòu)、機械臂和設(shè)于機械臂前端的夾持機構(gòu)；開蓋機構(gòu)包括工作表面、真空發(fā)生器、兩個鑰匙和鑰匙驅(qū)動裝置，所述工作表面上設(shè)置有至少一個連通真空發(fā)生器的吸嘴；鑰匙設(shè)立于工作表面上并受鑰匙驅(qū)動裝置驅(qū)動轉(zhuǎn)動；夾持機構(gòu)具有基座、設(shè)置于基座上的導(dǎo)軌和位置傳感器、定夾持件、活動設(shè)置于導(dǎo)軌上的動夾持件，以及驅(qū)動動夾持件沿導(dǎo)軌向靠近所述定夾持件的方向運動，以對工件進行夾持的夾持驅(qū)動裝置。其優(yōu)點是：本機構(gòu)配合晶圓輸送盒水洗機工作，其全自動智能運行，大幅減少人力、速度快、效率高、減少了清洗晶圓輸送盒后再次污染晶圓輸送盒的可能。并且有晶圓輸送盒的倉儲區(qū)，適應(yīng)水洗機的工作原理。