一種芯片自動上料檢測機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220215690.2 申請日 -
公開（公告）號 CN216773204U 公開（公告）日 2022-06-17
申請公布號 CN216773204U 申請公布日 2022-06-17
分類號 H01L21/677（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 梁猛;林海濤;趙凱;倪海銓;王菲 申請（專利權(quán)）人 上海世禹精密設(shè)備股份有限公司
代理機構(gòu) 上海遠同律師事務(wù)所 代理人 -
地址 201600上海市松江區(qū)九亭鎮(zhèn)連富路1589號3幢101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種芯片自動上料檢測機構(gòu)，包括底座，還包括設(shè)置在底座上用于傳輸芯片載具的傳送輥道裝置、用于將傳送輥道裝置上的載具轉(zhuǎn)移的移料裝置、用于感應(yīng)芯片在載具上是否翹起的第一感應(yīng)器以及用于回收移料裝置上芯片處于翹起狀態(tài)的載具的載具回收裝置，傳送輥道裝置、第一感應(yīng)器以及載具回收裝置沿縱向依次相鄰設(shè)置，移料裝置與傳送輥道裝置沿橫向相對設(shè)置，底座頂面還設(shè)置有用于驅(qū)使移料裝置沿載具回收裝置與傳送輥道裝置之間移動的縱向移動裝置，使載具上具有翹起狀態(tài)的芯片被第一感應(yīng)器檢測出來后送入載具回收裝置中被回收，避免翹起的芯片影響后面芯片加工的自動化。