智能顯示用大尺寸單層石墨烯透明導(dǎo)電薄膜的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610619056.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106205868B 公開（公告）日 2017-10-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN106205868B 申請(qǐng)公布日 2017-10-27
分類號(hào) H01B13/00(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張伯文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 和光晶能工業(yè)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京天華專利代理有限責(zé)任公司 代理人 張伯文;云燈光電（昆明）有限公司
地址 430000 湖北省武漢市東湖開發(fā)區(qū)關(guān)山大道以東創(chuàng)業(yè)街以北武漢光谷國際商務(wù)中心B幢10層1003號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種智能顯示用大尺寸單層石墨烯透明導(dǎo)電薄膜的制備方法，其特征在于基于非氫氣處理氣氛下，采用快速熱化學(xué)氣相沉積法在熱處理溫度為820～900℃條件下實(shí)現(xiàn)了具有良好性能的智能顯示用大尺寸單層石墨烯透明導(dǎo)電薄膜材料的快速制備，所制備的石墨烯導(dǎo)電薄膜的面積為(600±100)×(450±150)mm2，薄層電阻率為290±15Ω/sq，載流子遷移率可達(dá)5420～5780cm2/Vs，400nm處透過率為97.4～97.6％。可用于工業(yè)化批量生產(chǎn)。本發(fā)明工藝流程簡單，制備周期短，有利于降低成本要求，實(shí)現(xiàn)技術(shù)推廣和商業(yè)推廣。