一種Ni基金屬觸媒及其利用觸媒制備IC芯片拋光墊修整用特種金剛石的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910226816.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109825741A 公開(kāi)（公告）日 2019-05-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN109825741A 申請(qǐng)公布日 2019-05-31
分類(lèi)號(hào) C22C19/03（2006.01）I; C22C1/04（2006.01）I; C22C1/10（2006.01）I; C30B1/12（2006.01）I; C30B29/04（2006.01）I; C30B29/66（2006.01）I 分類(lèi) 冶金；黑色或有色金屬合金；合金或有色金屬的處理;
發(fā)明人 邵增明; 張存升 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 河南省力量鉆石股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州大通專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 代理人 李秋紅
地址 476200 河南省商丘市柘城縣產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)廣州路8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種Ni基金屬觸媒及其利用觸媒制備IC芯片拋光墊修整用特種金剛石的方法。該金屬觸媒是由Co、Fe、Al、La、Cu、B4C和鎳制備而成。將金屬觸媒和高純石墨依次進(jìn)行三維混合、等靜壓成型、造粒和壓制成圓柱狀合成柱，合成柱經(jīng)高真空還原處理后組裝成合成塊；將合成塊烘烤后放入高溫壓機(jī)中進(jìn)行高溫高壓合成金剛石，所得特種金剛石合成塊經(jīng)電解、提純處理，得到IC芯片拋光墊修整用尖錐狀特種金剛石。利用本發(fā)明合成出的含有尖錐晶型的金剛石，晶型一致、晶面完整、顏色黃、熱沖值高；可有效滿(mǎn)足IC芯片超精拋光加工的要求，大幅提高了IC芯片的加工效率和加工質(zhì)量。