一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用空氣凈化裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011087224.2 申請日 -
公開（公告）號 CN111921287B 公開（公告）日 2021-05-18
申請公布號 CN111921287B 申請公布日 2021-05-18
分類號 B01D46/00;B01D53/00;B08B15/04 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 李松和;劉軍;劉瑞欣;林明青 申請（專利權(quán)）人 托特半導(dǎo)體（山東）有限公司
代理機構(gòu) 北京化育知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 尹均利
地址 271000 山東省泰安市開發(fā)區(qū)北集坡一天門大街隆基科技城10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公布了一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用空氣凈化裝置，其包括，凈化殼體、傳動進風(fēng)機構(gòu)、切換進風(fēng)機構(gòu)，所述的凈化殼體為長方體結(jié)構(gòu)，傳動進風(fēng)機構(gòu)、切換進風(fēng)機構(gòu)安裝于凈化殼體內(nèi)，凈化殼體內(nèi)設(shè)置有進風(fēng)管、凈化器、排風(fēng)管，進風(fēng)管呈水平布置，進風(fēng)管的兩端與外界連通，進風(fēng)管上接通有連接殼體，連接殼體靠近凈化殼體的一側(cè)，連接殼體上接通有連通管，當(dāng)通風(fēng)殼體二處于打開狀態(tài)時，進風(fēng)管內(nèi)氣體經(jīng)進風(fēng)管的另一端部排出，從而除去雜質(zhì)氣體，擋塊一、擋塊二與連接板相抵時，能夠減緩連接板的移動速度，從而減緩?fù)L(fēng)殼體一、通風(fēng)殼體二的啟閉速度，因此能夠?qū)㈦s質(zhì)氣體經(jīng)進氣管排盡。