掩模容器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010054914.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113140492A 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN113140492A 申請公布日 2021-07-20
分類號 H01L21/673（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 梁賢石;金帥炯;金成昱 申請（專利權(quán)）人 夏泰鑫半導(dǎo)體（青島）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市賽恩倍吉知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙文曲
地址 266000山東省青島市黃島區(qū)太白山路172號青島中德生態(tài)園雙創(chuàng)中心219室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種掩模容器，用于承載掩模，所述掩模容器包括形成收納掩模的空間的載盤及蓋部，所述載盤包括相連接的底部及側(cè)部，所述蓋部包括上蓋與前蓋，所述上蓋的一邊與所述側(cè)部可轉(zhuǎn)動地連接，另一邊與所述前蓋可轉(zhuǎn)動地連接，所述掩模容器還包括將所述上蓋扣合于所述側(cè)部上的扣合部。本發(fā)明的實(shí)施例提供的掩模容器增設(shè)扣合部將上蓋扣合于側(cè)部上，避免掩模上的圖案被前蓋遠(yuǎn)離上蓋的一端破壞，影響后續(xù)的曝光顯影制程，提高了制程良率。