轉(zhuǎn)移裝置及其清潔方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911068959.8 申請日 -
公開（公告）號 CN111332734B 公開（公告）日 2022-01-25
申請公布號 CN111332734B 申請公布日 2022-01-25
分類號 B65G45/10（2006.01）I;B65G43/08（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 金大鎮(zhèn) 申請（專利權(quán)）人 夏泰鑫半導(dǎo)體（青島）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市賽恩倍吉知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 彭輝劍;龔慧惠
地址 266000山東省青島市黃島區(qū)太白山路172號青島中德生態(tài)園雙創(chuàng)中心219室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種轉(zhuǎn)移裝置，用于在半導(dǎo)體制造過程中將半導(dǎo)體晶片轉(zhuǎn)移到蝕刻和其他制造過程中的裝置中，并保持真空環(huán)境的清潔度。該轉(zhuǎn)移裝置包括存儲晶片的轉(zhuǎn)移室，從轉(zhuǎn)移室抽取顆粒的真空系統(tǒng)以及用于溫度控制的熱電裝置。真空系統(tǒng)包括抽氣管，熱電裝置包括用于冷卻轉(zhuǎn)移室的冷卻裝置，以及監(jiān)測裝置。所述監(jiān)測裝置用于檢測轉(zhuǎn)移室中的顆粒濃度。冷卻裝置和真空系統(tǒng)設(shè)于轉(zhuǎn)移室下方，所述冷卻裝置包括設(shè)置在抽氣管上的帕爾帖元件，以冷卻抽氣管，從而使煙霧和顆粒朝著轉(zhuǎn)移室下部移動。本申請還提供一種清潔方法，用于清潔所述轉(zhuǎn)移裝置中的轉(zhuǎn)移室。