對準標記系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911205271.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111354714B 公開（公告）日 2022-02-15
申請公布號 CN111354714B 申請公布日 2022-02-15
分類號 H01L23/544（2006.01）I;G03F1/42（2012.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 梁時元;劉智龍;權炳仁 申請（專利權）人 夏泰鑫半導體（青島）有限公司
代理機構 深圳市賽恩倍吉知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 彭輝劍;龔慧惠
地址 266000山東省青島市黃島區(qū)太白山路172號青島中德生態(tài)園雙創(chuàng)中心219室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種對準標記系統(tǒng)，其包括：第一組對準標記，其具有被分成群組的多個段，所述組彼此對稱；與所述第一組對準標記正交的第二組對準標記，所述第二組對準標記具有被分成群組的多個段，各組彼此對稱；和一與所述第一組對準標記和所述第二組對準標記對角設置的第三組對準標記，所述第三組對準標記具有被分成群組的多個段，并且所述群組正交于其各自的相鄰組。