一種薄膜材料相變溫度測量裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810767563.1 申請日 -
公開（公告）號 CN109001160B 公開（公告）日 2021-03-05
申請公布號 CN109001160B 申請公布日 2021-03-05
分類號 G01N21/41(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 繆向水;陳子琪;童浩;王愿兵;蔡穎銳 申請（專利權）人 武漢嘉儀通科技有限公司
代理機構 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 代理人 許美紅;王杰
地址 430075湖北省武漢市東湖新技術開發(fā)區(qū)未來科技城起步區(qū)A5北4號樓11層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種薄膜材料相變溫度測量裝置，包括襯底、電極陣列、探測光光源、信號探測裝置、紅外測溫裝置和計算機；襯底為不透光襯底，電極陣列置于襯底上，待測薄膜覆蓋于電極陣列的表面，探測光光源向待測薄膜表面發(fā)射探測光，在探測光光斑落點平面內，電極陣列在至少一個方向呈現(xiàn)周期性結構，探測光的入射方向與電極的周期性變化方向相同；信號探測裝置獲取經電極陣列衍射的探測光信號，傳輸至計算機；電極陣列的一端接電源正極、另一端接電源負極，通電后能夠為待測薄膜加熱，紅外測溫裝置安裝于待測薄膜上方監(jiān)測待測薄膜的溫度，傳輸至計算機。本發(fā)明裝置及方法基于光學衍射，能夠準確、快速地測量薄膜相變溫度，具有快速、無損測量的特點。??