用于測量薄膜材料相變溫度的裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810767504.4 申請日 -
公開（公告）號 CN109030414B 公開（公告）日 2021-05-11
申請公布號 CN109030414B 申請公布日 2021-05-11
分類號 G01N21/41 分類 測量；測試;
發(fā)明人 繆向水;陳子琪;童浩;王愿兵;蔡穎銳 申請（專利權(quán)）人 武漢嘉儀通科技有限公司
代理機構(gòu) 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 代理人 許美紅;王杰
地址 430075 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)未來科技城起步區(qū)A5北4號樓11層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于測量薄膜材料相變溫度的裝置，包括襯底、電極、紅外溫度探測器、激光光源、多普勒探測器、飛秒脈沖激光光源；襯底用于鋪設(shè)待測薄膜，電極置于待測薄膜上，紅外溫度探測器監(jiān)測待測薄膜的溫度；激光光源向待測薄膜表面斜射探測光，飛秒脈沖激光光源向同一入射點垂直射入飛秒激光脈沖，從而在薄膜內(nèi)產(chǎn)生聲波，使探測光在待測薄膜表面的反射光引起多普勒頻移，多普勒探測器用于探測該反射光的多普勒頻移信號。本發(fā)明測量裝置及方法利用飛秒激光誘導薄膜產(chǎn)生聲波，利用薄膜晶態(tài)和非晶態(tài)之間折射率的差異，反應(yīng)聲波在一定厚度薄膜內(nèi)傳播一個來回的時間差異，通過多普勒探測器探測反射光的多普勒頻移信號，具有快速、無損測量的優(yōu)點。