一種適用于大尺寸單晶硅感光快速收尾的單晶爐蓋
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921225084.3 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN211367794U | 公開(公告)日 | 2020-08-28 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN211367794U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-28 |
分類號(hào) | C30B15/00;C30B29/06 | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
發(fā)明人 | 韓凱;張文霞;武志軍;霍志強(qiáng);趙志遠(yuǎn);宋瑞強(qiáng);景吉祥;高潤(rùn)飛;王林;徐強(qiáng) | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | TCL中環(huán)新能源科技股份有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) | 代理人 | 欒志超 |
地址 | 300384 天津市濱海新區(qū)新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)華苑產(chǎn)業(yè)區(qū)(環(huán)外)海泰東路12號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種適用于大尺寸單晶硅感光快速收尾的單晶爐蓋,用于單晶爐上,能夠監(jiān)控單晶爐內(nèi)液面光圈亮度,判斷液面溫度,根據(jù)實(shí)時(shí)溫度調(diào)整拉速進(jìn)行收尾,通過(guò)對(duì)單晶爐內(nèi)液面亮度的監(jiān)控,獲得液面溫度變化的信息,與拉速配合實(shí)現(xiàn)快速收尾的目的,使得收尾過(guò)程更為靈活,既保證有效的減少位錯(cuò),又不會(huì)造成原料的浪費(fèi);另外還能通過(guò)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)變化實(shí)現(xiàn)收尾自動(dòng)化,與人工經(jīng)驗(yàn)判斷比較效率更高,也更適合批量化、規(guī)?;?。 |
