一種適用于大尺寸單晶硅感光快速收尾的單晶爐蓋

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921225084.3 申請日 -
公開（公告）號 CN211367794U 公開（公告）日 2020-08-28
申請公布號 CN211367794U 申請公布日 2020-08-28
分類號 C30B15/00;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 韓凱;張文霞;武志軍;霍志強;趙志遠;宋瑞強;景吉祥;高潤飛;王林;徐強 申請（專利權(quán)）人 TCL中環(huán)新能源科技股份有限公司
代理機構(gòu) 天津諾德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 欒志超
地址 300384 天津市濱海新區(qū)新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)華苑產(chǎn)業(yè)區(qū)（環(huán)外）海泰東路12號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種適用于大尺寸單晶硅感光快速收尾的單晶爐蓋，用于單晶爐上，能夠監(jiān)控單晶爐內(nèi)液面光圈亮度，判斷液面溫度，根據(jù)實時溫度調(diào)整拉速進行收尾，通過對單晶爐內(nèi)液面亮度的監(jiān)控，獲得液面溫度變化的信息，與拉速配合實現(xiàn)快速收尾的目的，使得收尾過程更為靈活，既保證有效的減少位錯，又不會造成原料的浪費；另外還能通過實時數(shù)據(jù)變化實現(xiàn)收尾自動化，與人工經(jīng)驗判斷比較效率更高，也更適合批量化、規(guī)?；?。