一種適用于大尺寸單晶的排氣系統(tǒng)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201921204057.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211005710U | 公開（公告）日 | 2020-07-14 |
| 申請公布號 | CN211005710U | 申請公布日 | 2020-07-14 |
| 分類號 | C30B15/00(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 張文霞;高潤飛;王林;谷守偉;徐強(qiáng);郭志榮 | 申請（專利權(quán)）人 | TCL中環(huán)新能源科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 天津諾德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 內(nèi)蒙古中環(huán)光伏材料有限公司 |
| 地址 | 300384 天津市濱海新區(qū)新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)華苑產(chǎn)業(yè)區(qū)（環(huán)外）海泰東路12號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種適用于大尺寸單晶的排氣系統(tǒng)，包括單晶爐底板和排氣管道，排氣管道與單晶爐底板連接，還包括排氣口和排氣口封堵裝置，其中，排氣口與單晶爐底板連接，且排氣口與排氣管道連通，便于氧化物排出；排氣口封堵裝置與排氣口轉(zhuǎn)動(dòng)連接，排氣口封堵裝置對排氣口打開或關(guān)閉，控制排氣系統(tǒng)排氣口打開的數(shù)量。本實(shí)用新型的有益效果是結(jié)構(gòu)簡單，維修方便，具有排氣口封堵裝置和管道封堵裝置，能夠?qū)ε艢饪诤凸艿肋M(jìn)行封堵，使得排氣口能夠分批次打開和關(guān)閉，排氣管道內(nèi)具有自凈化裝置，在保證爐臺(tái)正常運(yùn)行過程中，將爐內(nèi)不斷沉積下來的氧化物清掃掉，使?fàn)t臺(tái)正常運(yùn)行，且分批次打開排氣口，降低功耗，降低用電成本，保證單晶質(zhì)量。?? |
