一種適用于大尺寸單晶的排氣系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921204057.8 申請日 -
公開（公告）號 CN211005710U 公開（公告）日 2020-07-14
申請公布號 CN211005710U 申請公布日 2020-07-14
分類號 C30B15/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 張文霞;高潤飛;王林;谷守偉;徐強;郭志榮 申請（專利權）人 TCL中環(huán)新能源科技股份有限公司
代理機構 天津諾德知識產(chǎn)權代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 內(nèi)蒙古中環(huán)光伏材料有限公司
地址 300384 天津市濱海新區(qū)新技術產(chǎn)業(yè)園區(qū)華苑產(chǎn)業(yè)區(qū)（環(huán)外）海泰東路12號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種適用于大尺寸單晶的排氣系統(tǒng)，包括單晶爐底板和排氣管道，排氣管道與單晶爐底板連接，還包括排氣口和排氣口封堵裝置，其中，排氣口與單晶爐底板連接，且排氣口與排氣管道連通，便于氧化物排出；排氣口封堵裝置與排氣口轉動連接，排氣口封堵裝置對排氣口打開或關閉，控制排氣系統(tǒng)排氣口打開的數(shù)量。本實用新型的有益效果是結構簡單，維修方便，具有排氣口封堵裝置和管道封堵裝置，能夠對排氣口和管道進行封堵，使得排氣口能夠分批次打開和關閉，排氣管道內(nèi)具有自凈化裝置，在保證爐臺正常運行過程中，將爐內(nèi)不斷沉積下來的氧化物清掃掉，使爐臺正常運行，且分批次打開排氣口，降低功耗，降低用電成本，保證單晶質(zhì)量。??