一種降低輕摻硼晶棒體內(nèi)鐵含量系統(tǒng)及操作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210165196.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114574975A 公開（公告）日 2022-06-03
申請公布號 CN114574975A 申請公布日 2022-06-03
分類號 C30B35/00;C30B33/00 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 王忠保;馬成;芮陽 申請（專利權(quán)）人 杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州融方專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 沈相權(quán)
地址 311201 浙江省杭州市錢塘新區(qū)東墾路888號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種降低輕摻硼晶棒體內(nèi)鐵含量系統(tǒng)及操作方法，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括支撐臺，所述支撐臺的頂部開設(shè)有凹槽，所述支撐臺的底部開設(shè)有放置槽，本發(fā)明涉及半導(dǎo)體處理技術(shù)領(lǐng)域。該降低輕摻硼晶棒體內(nèi)鐵含量系統(tǒng)及操作方法，通過在支撐臺、凹槽、放置槽、驅(qū)動電機(jī)、驅(qū)動齒輪、第一槽體、第二槽體、第一轉(zhuǎn)軸、第二轉(zhuǎn)軸、第一轉(zhuǎn)動齒輪、夾持組件、第二轉(zhuǎn)動齒輪、升降機(jī)構(gòu)和傳動組件的配合使用下，在輕摻硼單晶未熔融前，在加熱的時候?qū)崿F(xiàn)翻轉(zhuǎn)，從而使得輕摻硼單晶各面受熱均勻，以提高處理效果，解決了現(xiàn)有的處理方式采用開放式熱場進(jìn)行輕摻硼單晶生長，但是，輕摻硼單晶在加熱時，受熱不均勻，影響處理效果的問題。