一種吹氣型晶圓傳片系統(tǒng)及操作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210079640.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114582769A 公開（公告）日 2022-06-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN114582769A 申請(qǐng)公布日 2022-06-03
分類號(hào) H01L21/677;H01L21/683 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 程博;趙延祥;劉波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州融方專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 沈相權(quán)
地址 311201 浙江省杭州市錢塘新區(qū)東墾路888號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種吹氣型晶圓傳片系統(tǒng)及操作方法，包括支撐臺(tái)，所述支撐臺(tái)的底部固定連接有底座，所述支撐臺(tái)的頂部固定連接有傳輸箱，所述支撐臺(tái)的前側(cè)固定連接有第一傳輸板和第二傳輸板，所述第一傳輸板的內(nèi)部設(shè)置有頂出機(jī)構(gòu)，本發(fā)明涉及晶圓傳輸技術(shù)領(lǐng)域。該吹氣型晶圓傳片系統(tǒng)及操作方法，通過(guò)設(shè)置有轉(zhuǎn)向傳輸機(jī)構(gòu)，利用驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)了連接桿和卡柱在十字輪的卡槽中移動(dòng)，以此實(shí)現(xiàn)了轉(zhuǎn)動(dòng)板和提取箱的轉(zhuǎn)動(dòng)，并通過(guò)提取板對(duì)晶圓進(jìn)行夾緊，以此實(shí)現(xiàn)了對(duì)晶圓的夾緊，從而避免了吸附產(chǎn)生掉落的問(wèn)題，并且實(shí)現(xiàn)了間歇的轉(zhuǎn)向，達(dá)到精確定位和傳輸?shù)哪康?，以此提高了晶圓傳片的效率。