一種直拉硅單晶增氧的控制系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210078574.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114561699A 公開（公告）日 2022-05-31
申請公布號 CN114561699A 申請公布日 2022-05-31
分類號 C30B29/06（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I;C30B15/20（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 祁海濱;冉澤平;李金波;倪浩然 申請（專利權(quán)）人 杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州融方專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 311201浙江省杭州市錢塘新區(qū)東墾路888號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種直拉硅單晶增氧的控制系統(tǒng)及方法，包括殼體，所述殼體固定連接有第一電機(jī)，所述第一電機(jī)連接有齒輪組件，所述第一電機(jī)輸出側(cè)靠近齒輪組件端連接有驅(qū)動機(jī)構(gòu)，所述齒輪組件側(cè)端連接有從動軸，所述從動軸上端固定連接有盛放殼，所述從動軸連接有第二皮帶輪組件，所述第二皮帶輪組件連接有清潔桿，所述殼體固定連接有抽氣機(jī)，所述殼體固定連接有渦流室，所述渦流室固定連接有冷氣管，本發(fā)明涉及直拉單晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。該直拉硅單晶增氧的控制系統(tǒng)及方法，冷氣經(jīng)管道經(jīng)波紋管將冷氣連接桿導(dǎo)至分離件端，在冷氣的作用下，轉(zhuǎn)板頂起，冷氣經(jīng)轉(zhuǎn)板所展開的注氣槽及濾板排放至石英坩堝底端，石英坩堝遇冷收縮。