一種測試重?fù)焦鑶尉勖臏y試系統(tǒng)及快速檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210078584.9 申請日 -
公開（公告）號 CN114563332A 公開（公告）日 2022-05-31
申請公布號 CN114563332A 申請公布日 2022-05-31
分類號 G01N17/00（2006.01）I;G01N21/84（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 祁海濱;冉澤平;李金波;倪浩然 申請（專利權(quán)）人 杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州融方專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 311201浙江省杭州市錢塘新區(qū)東墾路888號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種測試重?fù)焦鑶尉勖臏y試系統(tǒng)及快速檢測方法，包括恒溫測試箱，恒溫測試箱內(nèi)腔的上下兩側(cè)通過密封隔板分為試驗(yàn)腔和元件腔，本發(fā)明涉及重?fù)焦鑶尉y試技術(shù)領(lǐng)域。該測試重?fù)焦鑶尉勖臏y試系統(tǒng)及快速檢測方法，通過在凈化箱的內(nèi)部錯位設(shè)置多組分流板，并通過通口形成S型流腔，凈化流道增長，氮氧化合物氣體進(jìn)入到催化箱之后，經(jīng)過S型流腔內(nèi)的多組催化盒，并通過在催化盒內(nèi)填充的還原劑和吸附劑，使得催化箱內(nèi)部的氮氧化合物氣體可以經(jīng)過多次催化處理，有效的提高了對氮氧化合物氣體的凈化效果，進(jìn)而避免重?fù)焦鑶尉勖臋z測過程中，氮氧化合物氣體直接排放會污染環(huán)境，且對于操作人員產(chǎn)生危害的問題。